Val av vakuumpump ---Guide

Val av vakuumpump ---Guide

När du väljer en vakuumpump måste du vara uppmärksam på följande saker:

1. Vakuumpumpens arbetstryck bör uppfylla de ultimata vakuum- och arbetstryckskraven för vakuumutrustningen. Till exempel: vakuumbeläggning kräver en vakuumgrad på 110-5mmHg, och vakuumgraden för den valda vakuumpumpen måste vara minst 510-6mmHg. Vanligtvis väljs pumpens vakuumgrad att vara hälften till en storleksordning högre än vakuumutrustningens vakuumgrad.

2. Välj korrekt arbetspunkt för vakuumpumpen. Varje typ av pump har ett visst arbetstrycksområde, såsom 10-3~10-7mmHg för en diffusionspump. Inom ett så brett tryckområde ändras pumpens pumphastighet med trycket och dess stabila arbetstrycksområde är 510-4 ~510-6mmHg. Därför bör pumpens arbetspunkt väljas inom detta intervall och kan inte tillåtas arbeta under 10-8mmHg under lång tid. Ett annat exempel är att titansublimeringspumpen kan arbeta vid 10-2mmHg, men dess arbetstryck bör vara mindre än 110-5mmHg.

3. Vakuumpumpen ska kunna släppa ut all gas som genereras under vakuumutrustningsprocessen under sitt arbetstryck. 4. Kombinera vakuumpumpen på rätt sätt. Eftersom vakuumpumpar har selektiv pumpkapacitet, kan ibland inte en typ av pump uppfylla pumpkraven, och flera pumpar måste kombineras för att komplettera varandra för att uppfylla pumpkraven. Till exempel har en titansublimeringspump en hög pumphastighet för väte men kan inte pumpa helium, medan en tripolsputtrande jonpump (eller en diodasymmetrisk katodförstoftande jonpump) har en viss pumphastighet för argon. Tillsammans kommer vakuumanordningen att få en bättre vakuumgrad. Dessutom kan vissa vakuumpumpar inte arbeta under atmosfärstryck och kräver förvakuum; vissa vakuumpumpar har lägre utloppstryck än atmosfärstrycket och kräver en stödpump, så pumparna måste kombineras.

5. Krav på oljeföroreningar i vakuumutrustning. Om utrustningen strikt kräver oljefri bör olika oljefria pumpar väljas, såsom: vattenringpumpar, molekylsiladsorptionspumpar, sputterjonpumpar, kryogena pumpar etc. Om kraven inte är strikta kan man välja att ha en oljepump och lägg till några åtgärder mot oljeföroreningar, som att lägga till kylfällor, bafflar, oljefällor, etc., för att uppnå krav på rent vakuum.

6. Förstå sammansättningen av den pumpade gasen, om den innehåller kondenserbar ånga, om det finns partikeldamm, om den är frätande etc. När du väljer en vakuumpump måste du känna till gassammansättningen och välja motsvarande pump för gasen som ska pumpas. Om gasen innehåller ånga, partiklar och frätande gaser bör du överväga att installera extrautrustning, såsom kondensorer, dammuppsamlare, etc., på pumpens luftintagsrörledning.

7. Vilken påverkan har oljeångan som släpps ut från vakuumpumpen på miljön? Om miljön inte tillåter föroreningar kan du välja en oljefri vakuumpump eller släppa ut oljeångan utomhus.

8. Har vibrationerna som genereras av vakuumpumpen under drift någon inverkan på processen och miljön? Om processen inte tillåter det, bör en vibrationsfri pump väljas eller antivibrationsåtgärder vidtas.

9. Pris, drift och underhållskostnader för vakuumpumpar.